Протсессори плазма дастгоҳест, ки барои коркарди плазма истифода мешавад. Сохтори он аз ҷузъҳои асосии зерин иборат аст:
Камераи разряд: Камераи разряд ҷузъи асосии протсессори плазма мебошад. Он майдонҳои электрикии шиддати баланди AC ё басомади радиоро истифода мебарад, то разрядҳои газро ба вуҷуд оранд ва ба ин васила плазма ба вуҷуд оранд. Камераи разряд одатан аз маводи изолятсия ба монанди сафол ё шиша сохта мешавад.
Палатаи корӣ: Палатаи корӣ макони асосии коркарди мавод мебошад. Таъсири гуногуни коркард тавассути назорати параметрҳои гуногуни газ, фишор ва қувва ба даст оварда мешавад. Камераи корӣ маъмулан аз маводҳои дорои хосиятҳои хуби мӯҳри вакуумӣ, ба монанди металл ё сафолӣ сохта мешавад.
Системаи эвакуатсия: Системаи вакуумӣ барои истихроҷи газ аз камераи корӣ барои фароҳам овардани муҳити вакуумӣ ҳангоми коркард истифода мешавад. Системаи вакуумӣ маъмулан аз насоси вакуумӣ ва системаи назорати марбут иборат аст.
Таъмини қувваи-басомади баланд: Таъмини қувваи-басомади баланд ба протсессори плазма энергия дода, газро ионизатсия мекунад, то тавассути майдони электрикии басомади баланд- плазмаро ташкил кунад. Таъмини қувваи-басомади баланд маъмулан аз ҷузъҳои электронӣ ва системаҳои идоракунии алоқаманд иборат аст.
Системаи идоракунии автоматӣ: Системаи автоматии идоракунӣ тамоми раванди коркарди плазма, аз ҷумла танзими параметрҳо, назорати вақти коркард ва мониторинги сатҳи вакуумро назорат мекунад. Системаи идоракунии автоматӣ маъмулан аз компютер ва нармафзори идоракунии марбут иборат аст.
Гайр аз ин, коркардкунандагони плазма бо системаи таъминоти газ чихозонида шудаанд, то ки ба камераи разряди газхои зарурй дода шаванд. Ин система маъмулан аз баллони газ, танзимгари фишор, контролери ҷараёни ва дигар ҷузъҳо иборат аст.
Хулоса, сохтори протсессори плазма аз камераи разряд, камераи корӣ, системаи вакуумӣ, таъминоти қувваи-басомади баланд ва системаи идоракунии автоматӣ иборат аст. Фаъолияти ҳамоҳангшудаи ин ҷузъҳо ба протсессори плазма имкон медиҳад, ки реаксияҳои гуногуни физикӣ ва химиявиро дар сатҳи мавод ба вуҷуд оранд ва ба ин васила ба коркарди дилхоҳ ноил шаванд.